La taiwanesa TSMC ha decidido dar un paso estratégico en su cadena de suministro: comenzará a fabricar internamente sus propias láminas EUV (pellicles) en la antigua Fab 3 de Hsinchu Science Park, previamente dedicada a obleas de 8 pulgadas. Con ello, la compañía busca reducir costes, asegurar disponibilidad y mejorar el rendimiento en sus nodos de próxima generación.
¿Qué es una lámina EUV?
Una lámina EUV es una membrana ultrafina y transparente que se coloca sobre la fotomáscara para evitar que partículas entren en contacto durante la exposición con luz EUV. Su función es crítica: debe resistir altas dosis de radiación y estrés térmico sin distorsionar la imagen ni reducir demasiado la transmisión de luz.
En procesos EUV, las fuentes de luz alcanzan 400 W y provocan calentamientos locales de hasta 1.000 °C, condiciones que multiplican los riesgos de contaminación. Por ello, la calidad del pellicle es decisiva para el rendimiento (yield) de las obleas.
Coste y materiales avanzados
A diferencia de los pellicles usados en litografía DUV, que rondan los 600 dólares, los EUV pueden costar hasta 30.000 dólares la unidad. Este sobrecoste ha limitado su adopción masiva y ha contribuido a las diferencias de rendimiento documentadas entre fabricantes.
Con la internalización de la producción, TSMC pretende abaratar cada unidad, asegurar un suministro predecible y facilitar su integración a gran escala en sus fábricas. En paralelo, está investigando nuevos materiales, siendo las membranas de nanotubos de carbono las más prometedoras por su resistencia y transparencia óptica.
Impacto en nodos futuros
El objetivo es que estas láminas estén listas para los nodos más avanzados de la compañía, como N2 y A16, donde una mejora en la eficiencia y durabilidad de los pellicles podría incrementar los rendimientos y reforzar la ventaja competitiva de TSMC frente a rivales como Samsung Foundry o Intel.
En definitiva, la apuesta de TSMC por fabricar sus propios pellicles refleja una estrategia para controlar costes, asegurar calidad y garantizar escalabilidad, factores esenciales en la carrera por los nodos de vanguardia.
Vía: TechPowerUp
